眾所周知，熱退火在工業上制造機械，具體一定的重要性，許多大廠都很在意安全生產這塊的，畢竟是一個高溫情況下生產產品的區域，今天我們就來說說這方面的相關事宜。
熱退火工藝提供了一種用于加工基材的方法，所述方法包括：提供具有表面的基材;提供共聚物組合物，所述共聚物組合物包括：聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分,其中聚(苯乙烯 )-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分的數均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化劑，其中共聚物組合物包含>2wt%的抗氧化劑，基于嵌段共聚物組分的重量 ;施加上述共聚物組合物的薄膜到基材表面;任選地，烘焙上述薄膜;通過在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的氣體氣氛下加熱薄膜1秒鐘到4小時來退火上述薄膜;處理上述退火薄膜以從退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和將退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段轉換成SiOx。
作為一種新興的光刻技術越來越受到人們的關注
在定向自組裝中的應用：近兩年來，嵌段共聚物定向自組裝( DSA， Directed Self-Assembly of BlockCopolymer)光刻技術作為一種新興的光刻技術越來越受到人們的關注。其原理與之前所敘述的幾種技術有很大不同，是利用嵌段共聚物在熱退火或溶劑退火等條件下分相形成納米結構，以形成的納米結構作為模板對襯底進行刻蝕實現圖形化的一種技術。
關于熱退火宏創小編就為您介紹到這，倘若您還有其他相關問題，不妨登陸我們的官網通過在線咨詢或電話與小編取得聯系。
